Галерея — Страница 18034 — Ежегодный Конкурс асов 3D-моделирования
VIII Конкурс АСов КОМПьютерного 3D-моделирования | 2010 год

Установка вакуумно-технологическая Caroline D12B2

III место, Машиностроение
Оборудование для предприятий микроэлектронной промышленности, а также предприятий, занимающихся нанесением высокопрочных покрытий.
Предназначена для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм) подложки размером до Ø150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150×350 мм).
В установку Caroline D12B2 может быть установлено максимум 7 магнетронов, 2 источника ионов и 2 нагревателя.
Установка комплектуется магнетронами для распыления любых материалов, например, резистивные сплавы, Cu, Cr, Ni, Al и т.п.
Белецкий Владимир Евгеньевич
Берлин Евгений Владимирович
ООО «ЭСТО-Вакуум», Зеленоград
15872
7839